目前,中科艾尔二期项目开工建设,新项目占地13.3万平米,建筑面积约12万平米,建设内容为年产500万件的超洁净气路系统关键零部件生产线、年产1000万米的超洁净管件生产线、年产7万个半导体级源瓶以及16万个半导体级瓶阀的超洁净存储集成生产线。
消息称,该项目建成后,将成为国内唯一的产研一体、链条闭环的集成电路气路系统核心零部件研发生产基地,强力支撑国内芯片生产的自主可控、国产替代战略。
资料显示,中科艾尔主要生产半导体级气路关键部件,是半导体电抛光技术高端产品与核心解决方案的专业服务商。
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