公告显示,HSC-F3400机型配备了新型清洗模块、干燥模块及颗粒与金属污染控制系统,可稳定实现大硅片正面及背面的高效率超洁净清洗。
华海清科表示,该产品是公司继CMP设备、减薄设备之后,在湿法设备系列产品中的又一重要布局,对公司未来的发展将产生积极的影响,对公司未来的发展将产生积极的影响,有利于公司践行“装备+服务”的平台化发展战略。
华海清科称,该产品尚需市场推广和更多客户对该产品进行验证,存在未来市场推广与客户开拓不及预期的风险。
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